CVD反應容器加熱

感應加熱金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）反應器是一項旨在提高加熱效率並減少與氣體入口的有害磁耦合的技術。傳統的感應加熱 MOCVD 反應器通常將感應線圈放置在腔室外部，這可能會導致加熱效率較低，並對氣體輸送系統產生潛在的磁幹擾。最近的 … 阅读更多