感應加熱金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD) 反應器 是一項旨在提高加熱效率並減少與進氣口的有害磁耦合的技術。傳統的感應加熱 MOCVD 反應器通常將感應線圈放置在腔室外部，這可能會導致加熱效率較低，並對氣體輸送系統產生潛在的磁幹擾。最近的創新建議重新定位或重新設計這些組件以增強加熱過程，從而提高晶圓上溫度分佈的均勻性並最大限度地減少與磁場相關的負面影響。這項進步對於更好地控制沉積過程、從而獲得更高品質的半導體薄膜至關重要。
感應加熱 MOCVD 反應器
金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD) 是半導體材料製造中使用的重要製程。它涉及將氣態前體的薄膜沉積到基板上。這些薄膜的品質很大程度取決於反應器內溫度的均勻性和控制。感應加熱已成為提高 MOCVD 製程效率和結果的複雜解決方案。
MOCVD 反應器中的感應加熱簡介
感應加熱是一種利用電磁場加熱物體的方法。在 MOCVD 反應器中，該技術比傳統加熱方法具有多種優勢。它可以實現更精確的溫度控制和整個基材的均勻性。這對於實現高品質薄膜生長至關重要。 
感應加熱的好處
提高加熱效率： 感應加熱透過直接加熱基座（基板的支架）而無需加熱整個腔室，從而顯著提高了效率。這種直接加熱方法最大限度地減少了能量損失並提高了熱響應時間。
減少有害磁耦合： 透過優化感應線圈和反應室的設計，可以減少磁耦合，這種耦合會對控制反應器的電子設備和沈積薄膜的品質產生不利影響。
溫度分佈均勻： 傳統的 MOCVD 反應器經常面臨基板上溫度分佈不均勻的問題，對薄膜生長產生負面影響。感應加熱，透過精心設計的加熱結構，可以顯著提高溫度分佈的均勻性。
設計創新
最近的研究和設計著重於克服傳統技術的局限性 感應加熱 在 MOCVD 反應器中。透過引入新穎的基座設計，例如T形基座或V形槽設計，研究人員旨在進一步提高加熱過程的溫度均勻性和效率。此外，對冷壁 MOCVD 反應器中加熱結構的數值研究為優化反應器設計以獲得更好的性能提供了見解。
對半導體製造的影響
整合 感應加熱 MOCVD 反應器 代表半導體製造向前邁出了重要一步。它不僅提高了沉積過程的效率和質量，而且有助於開發更先進的電子和光子裝置。