關於感應加熱等離子體
等離子體的特徵在於未結合的正和負粒子的電中性介質,總電荷大致為零。 像氣體一樣,除非封裝在容器中,否則等離子體沒有確定的形狀。 為了產生等離子體,我們將電場施加到氣體上,目的是從圍繞原子核的軌道移除電子。 這產生了離子和自由流動電子的混合,這提供了等離子體的關鍵特性,包括其電導率,磁場和對外部電磁場的敏感性。
產生和維持等離子體的關鍵要求是持續的能量輸入。 感應是為等離子體產生提供連續能量輸入的理想方式。 一些典型的等離子工業應用包括:
- 等離子焊接
- 金屬切削
- 表面處理(等離子噴塗)
- 微電子蝕刻